مقایسه ویژگی نانو ساختاری اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم
نویسندگان
چکیده مقاله:
Recently, high – K materials such as Al2O3 and TiO2 films have been studied to replace ultra thin gate silicon dioxide film. In the present work, these films were grown on the top of Si(100) surface at different temperatures and under ultra high vacuum conditions. The obtained results showed that Al2O3 has a structure better than that of TiO2 and thus can be used as a good gate dielectric for future MISFET (Metal – Insulator- Semiconductor- Field – Effect- Transistors) devices.
منابع مشابه
رشد و بررسی خواص نانو ساختاری اکسید تیتانیوم و نیتراید آلومینیوم
We have grown TiO2 and AlN under ultra high vacuum and high pressure conditions and studied their structures with using AES and SEM techniques. The obtained results show that an amorphous film of TiO2 and AlN could be formed on silicon substrate. Furthermore, TiO2 and AlN are high – K dielectric materials and they can thus be replaced to ultra thin gate oxide film.
متن کاملرشد و بررسی خواص نانو ساختاری اکسید تیتانیوم و نیتراید آلومینیوم
اکسید تیتانیوم و نیترید آلومینیوم را در شرایط به ترتیب فشار بالا و فشار بسیار پایین بر زیر لایه سیلیکونی رشد داده ایم و با استفاده از تکنیکهایی نظیر تابش سینکروترونی,( aes (auger electron spectroscopy و( sem (scanning electron microscope به مطالعه ساختار آنها پرداختیم. بررسیهای به عمل آمده نشان می دهند که فیلم آمورف اکسید تیتانیوم و یا نیترید آلومینیوم بر زیر لایه سیلیکون شکل گرفته است که این و...
متن کاملﺑﺮرﺳﯽ ماشینکاری تخلیه‌الکتریکی ماده مرکب آلومینیوم تقویت شده با نانو ذرات اکسید تیتانیوم
نانو ذرات مورد استفاده در مواد مرکب زمینه فلزی دارای انواع مختلف و خواص فیزیکی، شیمیایی و مکانیکی متفاوتی می باشند که باعث بهبود سختی، مقاومت مکانیکی، سایش و خواص دمایی می شوند و قابلیت های ماشینکاری مواد را تغییر می دهند. در این تحقیق به بررسی پارامترهای ماشینکاری تخلیه الکتریکی ماده مرکب الومینیوم تقویت شده با نانوذرات اکسید تیتانیوم پرداخته می شود. هدف از این تحقیق بررسی تاثیر شدت جریان، ولت...
متن کاملایجاد پوشش نانوکامپوزیتی نیکل/اکسید تیتانیوم/اکسید آلومینیوم به روش رسوب‌دهی الکتریکی
در این مطالعه، پوشش نانوکامپوزیتی نیکل – اکسید تیتانیوم – اکسید آلومینیوم به روش رسوب‌دهی الکتریکی از حمام وات در غلظت‌های مختلف ذرات اکسید، روی زیرلایه فولاد آلیاژی ایجاد شده است. افزایش ذرات تقویت‌کننده روی مورفولوژی سطح تاثیر گذاشت و سبب اصلاح دانه‌بندی ذرات پوشش شد. توزیع ذرات در پوشش روی خواص پوشش بررسی گردید. نتایج نشان داد با افزایش مقدار ذرات تقویت‌کننده در پوشش، میکروسختی افزایش می‌یاب...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
عنوان ژورنال
دوره 31 شماره 1
صفحات 51- 56
تاریخ انتشار 2012-06
با دنبال کردن یک ژورنال هنگامی که شماره جدید این ژورنال منتشر می شود به شما از طریق ایمیل اطلاع داده می شود.
کلمات کلیدی برای این مقاله ارائه نشده است
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023